特許

J-GLOBAL ID：200903052891536017

X線透過検査装置

発明者： 徳谷 照義
出願人/特許権者： オーエヌ電子株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169438
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356606
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 比較的小型で安価にX線の透過像を得ることができるようなX線透過検査装置を提供する。【解決手段】 XYテーブル1上でθテーブル5が±180度回転可能に構成し、その上に検査すべき基板2を載置し、フレーム7をこの検査面を中心として所定の角度で回動させて、フレーム7の一端に取付けたX線源3から基板2にX線を照射し、その透過像をカメラ4で撮影し、基板2の良否を検査する。

請求項（抜粋）：

X線を透過して基板を検査するX線透過検査装置であって、前記基板を回転するための回転テーブル、およびその一方端に前記基板に前記X線を照射するためのX線源が取付けられ、その他方端に前記基板を透過したX線に基づく像を撮影するためのカメラが取付けられ、前記基板の検査面を中心として所定の角度で回動可能なフレームを備えた、X線透過検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

Fターム (18件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  5E319CC22 ,  5E319CD53