プラズマ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-071070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274065
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【構成】マイクロ波導波路となる誘電体線路21と、この誘電体線路21に対向する面にマイクロ波導入口3が開口された金属製の反応容器1と、このマイクロ波導入口3を気密に封止しかつマイクロ波を反応容器1内に導入するためのマイクロ波導入板4およびこれを支持する支持体5とを備え、この支持体5にはマイクロ波導入のための短辺の長さがマイクロ波の波長の1/6以上でかつマイクロ波の波長以下である複数のスリット状の中空部6がマイクロ波の波長以下の間隔で開口されているプラズマ装置。【効果】液晶ディスプレイ用ガラス基板等の大面積の基板を安定してかつ均一にプラズマ処理することができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波導波路となる誘電体線路と、この誘電体線路に対向する面にマイクロ波導入口が開口された金属製の反応容器と、このマイクロ波導入口を気密に封止しかつマイクロ波を反応容器内に導入するためのマイクロ波導入板およびこれを支持する支持体とを備え、この支持体には短辺の長さがマイクロ波の波長の1/6以上でかつマイクロ波の波長以下である複数のスリット状の中空部がマイクロ波の波長以下の間隔で開口されていることを特徴とするプラズマ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , G02F 1/1333 500 , H05H 1/46

FI (5件)：

H01L 21/302 B , C23C 16/50 , C23F 4/00 D , G02F 1/1333 500 , H05H 1/46 B

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