触覚センサー及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：原謙三 , 木島隆一 , 金子一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-359299
公開番号（公開出願番号）：特開2005-338053
出願日： 2004年12月13日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】圧力と熱とを同時に感知する触覚センサー及びその製造方法を提供し、微細手術、ガン診断などの医療分野、仮想環境具現分野において触覚提示にともなう敏感度を向上する。【解決手段】ウェーハ下面に力センサーの支持ブロック形成用パターン、上面に熱センサーの圧電抵抗形成用パターンを形成し、ウェーハの上面に圧電抵抗を形成し、その上に酸化膜を蒸着し、前記圧電抵抗の上部に接触ホールを形成し、熱センサーの他側酸化膜の上にラインホール形成用パターンを形成し、前記ウェーハの上面にメタルラインと温度測定用金属線及びヒーターを形成し、前記メタルラインと温度測定用金属線及びヒーターの上部側に酸化物を蒸着し、その上に蒸着とエッチングを介して荷重ブロックを形成し、前記荷重ブロックの形成されたウェーハの下面をエッチングして、力センサーの支持ブロックを形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェーハの下面に力センサーの支持ブロック形成用パターンを形成し、上面に熱センサーの圧電抵抗形成用パターンを形成する第1段階と; イオン注入工程を介してウェーハの上面に圧電抵抗を形成し、その上に酸化膜を蒸着する第2段階と; 前記圧電抵抗の上部に接触ホールが形成されるようにし、熱センサーの他側酸化膜の上にラインホール形成用パターンを形成する第3段階と; 前記ウェーハの上面に金属蒸着とリフトオフ工程を介して前記接触ホール間の連結線であるメタルラインと熱センサーの温度測定用金属線及びヒーターが形成されるようにする第4段階と; 前記メタルラインと温度測定用金属線及びヒーターの上部側に酸化物を蒸着し、前記酸化物の薄膜の上に蒸着とエッチングを介して荷重ブロックを形成する第5段階と; 前記荷重ブロックの形成されたウェーハの下面をエッチングして、力センサーの支持ブロックを形成する第6段階とを含むことを特徴とする触覚センサーの製造方法。

IPC (7件)：

G01L1/18 , B81B1/00 , B81C1/00 , G01D21/02 , G01K7/16 , G01L5/16 , H01L29/84

FI (7件)：

G01L1/18 A , B81B1/00 , B81C1/00 , G01D21/02 , G01K7/16 B , G01L5/16 , H01L29/84 B

Fターム (24件)：

2F051AA10 , 2F051AA17 , 2F051AB09 , 2F051DA02 , 2F076BA01 , 2F076BD08 , 2F076BD10 , 2F076BE01 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA06 , 4M112CA07 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112DA08 , 4M112DA10 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

複合機能デバイス及び触覚情報システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-245299 出願人：キヤノン株式会社
物体認識再現装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-211594 出願人：ソニー株式会社
触覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-030090 出願人：オリンパス光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る