特許

J-GLOBAL ID：200903052904283679

真空容器のベーキング方法及び装置

発明者： 篠塚 脩平 ,  小野 耕司 ,  松村 正夫 ,  吉岡 毅
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344893
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171373
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】 真空容器に保温材を巻く必要がなく、かつリボンヒータを巻いたり赤外線ヒータを照射する必要がなく真空容器を簡便にベーキングすることができる真空容器のベーキング方法及び装置を提供する。【構成】 容器本体2と、容器本体2の開口部を閉塞する蓋3とからなる真空容器1のベーキング方法において、真空容器1内に設置されるマイクロ波発信機9からのマイクロ波によって真空容器1内をベーキングする。

請求項（抜粋）：

容器本体と、前記容器本体の開口部を閉塞する蓋とからなる真空容器のベーキング方法において、前記真空容器内に設置されるマイクロ波発信機からのマイクロ波によって真空容器内をベーキングすることを特徴とする真空容器のベーキング方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-074251
  
• 特開昭61-253792
  
• 特開昭61-074251
  
• 特開昭61-253792