特許
J-GLOBAL ID：200903052905470928
シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武田 正彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349292
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124889
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 減圧加熱下において、石英ガラスルツボ壁面の膨張及び変形が少なく、即ち耐久性に優れ、均熱特性が良好であり、さらに長時間使用可能な石英ガラスルツボを安価に製造することができる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。【構成】 内面が透明層で形成され、外面が泡入り層で形成されているシリコン単結晶引上げ用ルツボにおいて、前記透明層が水素熱拡散処理された透明層であるシリコン単結晶引上げ用ルツボを提供し、このようなルツボは、アーク回転熔融法で透明層で内面が形成されている石英ガラスルツボを製造し、このように製造された石英ガラスルツボの内表面を、水素又は水素含有雰囲気中で、300乃至1200°Cの温度に0.5時間乃至5時間の間加熱して製造する。
請求項（抜粋）：
内面が透明層で形成され、外面が泡入り層で形成されているシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、前記透明層が水素熱拡散処理された透明層であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, C30B 27/02
, C30B 29/06 502
