特許
J-GLOBAL ID：200903052908408220
エッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田治米 登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027627
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224345
出願日： 1993年01月23日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 複数の異なる金属層が積層された被エッチング材料、特に、アルミニウム系材料を鉄系材料でサンドイッチした3層クラッド材料を、高いエッチングファクターで且つファインピッチでエッチングできるようにする。【構成】 第1の金属層1及び第2の金属層2が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層3を形成し、その後に第1の金属層1を第1のエッチング液でエッチングし、次に、第1の金属層を実質的にエッチングしないが第2の金属層をエッチングすることのできる第2のエッチング液で第2の金属層2をエッチングする。特に、アルミニウム層を鉄ニッケル合金層で挟持するリードフレーム用の被エッチング材料の場合には、第1のエッチング液として塩化第二鉄水溶液又は硫酸銅水溶液を使用し、第2のエッチング液として水酸化アルカリ金属を含有するアルカリ水溶液、又は燐酸及び硝酸を含有する酸性水溶液を使用する。
請求項（抜粋）：
第1の金属層及び第2の金属層が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に第1の金属層を第1のエッチング液でエッチングし、次に、第1の金属層を実質的にエッチングしないが第2の金属層をエッチングすることのできる第2のエッチング液で第2の金属層をエッチングすることを特徴とするエッチング方法。
IPC (5件)：
H01L 23/50
, C23F 1/18
, C23F 1/28
, C23F 1/36
, C23F 1/44
