特許
J-GLOBAL ID：200903052909640925

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者：
名取 美智子

名取 美智子 について

, 
日高 敬浩

日高 敬浩 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 三好 秀和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-224733
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040645
出願日： 2000年07月26日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像度、耐スカム発生性及び耐めっき性が優れ、プリント配線の高密度化に有用な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B1)下記一般式(I)で表される光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメント、この感光性エレメントを、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。【化1】(式中、複数個のXは各々独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、3個のjは各々独立に1〜30の整数である)
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B1)一般式(I)【化1】(式中、複数個のXは各々独立に炭素数2〜6のアルキレン基を示し、3個のjは各々独立に1〜30の整数である)で表される光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (14件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F 20/28 ,  C08F220/30 ,  C08F289/00 ,  C08F290/04 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  G03F 7/40 521
FI (14件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/46 ,  C08F 20/28 ,  C08F220/30 ,  C08F289/00 ,  C08F290/04 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/032 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D ,  G03F 7/40 521
Fターム (176件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025CA28 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  4J011PA65 ,  4J011PA67 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA22 ,  4J011QA32 ,  4J011QA33 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QA38 ,  4J011QA43 ,  4J011QA46 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA10 ,  4J011SA03 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA14 ,  4J011SA15 ,  4J011SA20 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA28 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA38 ,  4J011SA54 ,  4J011SA58 ,  4J011SA63 ,  4J011SA74 ,  4J011SA75 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA19 ,  4J026AA31 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA47 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026AA53 ,  4J026AA54 ,  4J026AA55 ,  4J026AC09 ,  4J026AC18 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026AC36 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026BB03 ,  4J026BB04 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AJ02 ,  4J027AJ08 ,  4J027AJ09 ,  4J027BA04 ,  4J027BA07 ,  4J027BA13 ,  4J027BA19 ,  4J027BA24 ,  4J027CA02 ,  4J027CA03 ,  4J027CA10 ,  4J027CA34 ,  4J027CA36 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J100AL08S ,  4J100AL66Q ,  4J100AL66R ,  4J100AL67P ,  4J100AL74S ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03T ,  4J100BA04T ,  4J100BA05T ,  4J100BA06T ,  4J100BA08P ,  4J100BA08Q ,  4J100BA08R ,  4J100BA08S ,  4J100BA14T ,  4J100BA16T ,  4J100BA29S ,  4J100BA30S ,  4J100BA40S ,  4J100BA41S ,  4J100BA52S ,  4J100BA53T ,  4J100BB01T ,  4J100BB03T ,  4J100BB05S ,  4J100BB07S ,  4J100BC02S ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43S ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38 ,  5E339AC01 ,  5E339AD05 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF15 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB67 ,  5E343CC63 ,  5E343DD32 ,  5E343DD76 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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