特許

J-GLOBAL ID：200903052910554455

光学的検査方法および光学的検査装置

発明者： 内川 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152382
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015155
出願日： 1994年07月04日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 励起レーザー光の強度揺らぎのある状況下でも、正確に蓄積光エコーを蛍光から検出できる光学的検査装置を提供する。【構成】 光源100からの光を、光変調光学系200において、互い直交する直線偏光成分に分け、その一方の成分について、光遅延器230により光路長を順次変化させ、かつ、他方の成分について位相変調器220により位相変調を行なった後、これらを合成して、試料Mに照射する。試料Mからの蛍光を偏光ビームスプリッタで互い直交する直線偏光成分に分け、それぞれについて検出器341,342により強度を測定し、得られたデータについて作動アンプ343での差分を求める。そして、得られた差分データについて、ロックインアンプ344で変調周波数の2倍の周波数成分のみ増幅する。得られた結果と遅延時間τとの関係から、位相緩和時間を求める。

請求項（抜粋）：

像面上で点光源とみなせる空間コヒーレンスと所定の時間コヒーレンスとを有する光を、互いに直交する直線偏光よりなる2光束に分割して、それぞれの光路を進行させ、いずれかの光路の光路長を変化させ、かつ、いずれかの光路において、光を位相変調した後、2光束を合成して、試料に照射し、試料から放射される蛍光を、互いに直交する直線偏光よりなる2光束に分割し、それぞれの強度を検出し、かつ、それぞれの検出信号の差分を求め、この差分データについて上記位相変調の周波数の偶数倍のいずれかの変調強度を選択的に増幅して蓄積エコー強度を求め、さらに、光路長を異なる長さに変化させて、上記手順を繰返し、光路長の変化による遅延時間と、その時の蓄積エコー強度とを得ることを特徴とする光学的検査方法。