特許
J-GLOBAL ID：200903052911727221
流体軸受装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195315
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042292
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 流体軸受装置において、スピンドルとそれを支持する軸受メタルとの間の熱膨張による相対変位量を正確に検出して、冷却用流体の熱交換量を適正に制御する。【解決手段】 軸受用流体供給装置28からスピンドル18と軸受メタル16、17との間の軸受間隙26,27に軸受用流体を供給して、スピンドル18をハウジング11に回転可能に支持する。スピンドル18と軸受メタル16,17との間で熱膨張により相対変位が生じたとき、流量検出器31により軸受用流体の流量を検出する。その流量検出器31の検出結果に応じて温度調節装置41,42及び流量調節装置43,44により、スピンドル18及び固定子20を冷却する冷却用流体の温度及び流量をそれぞれ制御する。
請求項（抜粋）：
回転部材と静止部材との間のすき間に軸受用流体を供給して、回転部材を静止部材に回転自在に支持するとともに、回転部材側及び/または静止部材側へ冷却用流体を供給して冷却を行う冷却手段を有する流体軸受装置において、前記すき間の変化による軸受用流体の供給流量の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出結果に応じて、前記すき間が常に一定になるように前記冷却手段を制御し、回転部材側と静止部材側との間で冷却用流体の熱交換量を調整する制御手段、を設けた流体軸受装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 Z
, F16C 37/00 A
