特許
J-GLOBAL ID：200903052917074360
評価検証装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339215
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177056
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 チャンバ内にボードを容易に搬入できる評価検証装置を提供する。【解決手段】 試料デバイスを搭載したボード31を多数段並べてチャンバ11内に収容し、試料デバイスに熱ストレスを与えて、評価・検証を行なう評価検証装置であって、ボード31が配置されるラック30が取り付けられたラック搬送カート20と、チャンバ11の底面及びその底面に接する1つの側面に形成され、ラック搬送カート20が出入する底面及び側面開口部11a,11bと、底面開口部11aに設けられ、搬送台車が載置される床板部12aを備え、乗り込み位置と収容位置間を昇降する昇降部12とを備え、ラック搬送カート20は、床部21に断熱層21cを有し、チャンバ11内に収容されて、収容位置に上昇したときに、チャンバ11の一部として、密封構造を保つ。
請求項（抜粋）：
試料デバイスを搭載したボードを多数段並べてチャンバ内に収容し、前記試料デバイスに熱ストレスを含むストレスを与えて、評価・検証を行なう評価検証装置であって、前記ボードが配置されるラックが取り付けられた搬送台車と、前記チャンバの底面及びその底面に接する1つの側面に形成され、前記搬送台車が出入する底面及び側面開口部と、前記底面開口部に設けられ、前記搬送台車が載置される床板部を備え、乗り込み位置と収容位置間を昇降する昇降手段とを備え、前記搬送台車は、床部が断熱構造となっており、前記チャンバ内に収容されて、前記収容位置に上昇したときに、前記チャンバの一部として、密封構造を保つことを特徴とする評価検証装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 H
, G01R 31/00
