塗装シートの欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白川一一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-016038
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082386
出願日： 1991年01月14日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】基層の変動に影響されることなしに塗装シートの基層欠陥と塗装欠陥の種別を区分して検出することのできる欠陥検出を行わしめる。【構成】被検査物たる塗装シート状物に紫外帯域波長光の反射型投光器と白色蛍光灯または白熱ランプの透過型投光器を併用し、これらの投光手段に対しCCDセンサーを受光手段として用いた検出部を形成し、該検出部の出力側に信号処理部を連結し、該信号処理部の出力を欠陥画像処理部に接続する。【効果】塗装シート状物の基地および塗装における欠陥種別を夫々区分して検出表示し、単一行程で的確な欠陥検出を行わしめる。

請求項（抜粋）：

塗装シート状物に対し投光手段と受光手段とを配設して欠陥部を検査する装置であって、前記投光手段として紫外帯域波長光の蛍光灯である反射型段光器と白色蛍光灯または白熱ランプである透過型投光器とを併用すると共に上記受光手段としてCCDセンサーを用い、該検出手段の出力側に信号処理部を連結し、該信号処理部の出力を静止画像またはスキャニング画像として映出する欠陥画像処理部に接続せしめ、欠陥別の光量差による映像波形別で欠陥種別を弁別することを特徴とする塗装シートの欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 , G01N 21/88 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭55-119789
特開平1-092878
特開平2-179452

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