特許

J-GLOBAL ID：200903052922053915

加速度センサ

発明者： 佐藤 郁
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075676
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352143
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 広いダイナミックレンジと高い検出精度を兼ね備えるとともに小型化が可能である三次元加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 三次元の自由度を持つ振動子2bに、X,Y,Zの直交空間座標軸のZ軸上に軸線を含ませた質点の磁性体4を取り付け、X軸及びY軸の上であって座標軸の原点周りの同心円上にそれぞれ中心を持つ4個以上の検出素子5a,6a,7a,8aを配置し、磁性体4からの磁界強度の変化をX軸上の2個の検出素子5a,6aの出力電圧の相対差によりX軸方向の、Y軸上の2個の検出素子7a,8aの出力電圧の相対差によりY軸方向の、及び全ての検出素子5a,6a,7a,8aの出力電圧の総和によりZ軸方向の加速度をそれぞれ検出する。

請求項（抜粋）：

基体と、三次元の自由度を持つ振動系として前記基体に連接された振動子と、前記振動子に取り付けられた磁性体と、前記磁性体の変位による磁界の変化を検知する少なくとも4個の検出素子と、を備え、X、Y、Zの直交空間座標軸のX軸方向の加速度を前記検出素子のうち少なくとも2個の検出素子の磁界変化による出力信号に基づき、Y軸方向の加速度を前記検出素子のうち少なくとも他の2個の検出素子の磁界変化による出力信号に基づき、およびZ軸方向の加速度を前記検出素子の出力信号に基づき、それぞれ検出することを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/08 C ,  G01P 15/00 K ,  H01L 29/84 Z