特許

J-GLOBAL ID：200903052923040884

液体噴射ヘッド及びその検査方法並びに製造方法

発明者： 島田 勝人
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-226258
公開番号（公開出願番号）：特開2004-066538
出願日： 2002年08月02日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】歩留まりの向上及び製造コストの低減を図ることのできる液体噴射ヘッド及びその検査方法並びに製造方法を提供する。【解決手段】流路形成基板10の圧電素子300側の面に接合され圧電素子300を封止する封止部31を有する封止基板30を具備すると共に封止基板30の流路形成基板10との接合面とは反対側の面に絶縁膜35を介して設けられて圧電素子300に電圧を印加するための接続配線130を有し、且つ封止基板30がシリコン単結晶基板からなると共にその表面に絶縁膜35が除去されて封止基板30が露出した露出部34を少なくとも一つ設ける。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板に振動板を介して設けられる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、 前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合され当該圧電素子を封止する封止部を有する封止基板を具備すると共に該封止基板の前記流路形成基板との接合面とは反対側の面に絶縁膜を介して設けられて前記圧電素子に電圧を印加するための接続配線を有し、且つ前記封止基板がシリコン単結晶基板からなると共にその表面に前記絶縁膜が除去されて当該封止基板が露出した露出部が少なくとも一つ設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (1件)：

B41J2/16

FI (1件)：

B41J3/04 103H

Fターム (9件)：

2C057AF93 ,  2C057AG48 ,  2C057AG85 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AP82 ,  2C057AQ02