特許
J-GLOBAL ID:200903052925602162

超音波検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-273976
公開番号(公開出願番号):特開平9-113492
出願日: 1995年10月23日
公開日(公表日): 1997年05月02日
要約:
【要約】【課題】 検査ワークの検査を妨げることなく超音波プローブを校正し、かつ常に最適な状態で検査ワークの検査を行う。【解決手段】 中心軸が共通で半径の異なる複数の円柱を、半径の小さいものが上になるように順に密着接合して形成した校正ワーク14を、検査ワーク2とは異なる位置に設置し、超音波プローブ1の待避期間中、すなわち検査ワーク2の搬送中に超音波プローブ1を校正ワーク14上に移動させ、校正ワーク14を用いて超音波プローブ1の校正を行う。このため、検査を妨げることなく超音波プローブ1の校正を行うことができ、検査処理時間を高速化しつつ検査精度を向上できる。また、超音波の照射位置によって反射エコーの振幅と路程時間の双方が変化するような形状の検査ワーク2を用いるため、振幅と路程時間を目安にすることで簡易かつ精度よく超音波プローブ1の校正を行える。
請求項(抜粋):
検査ワークに向けて超音波を送信し、前記検査ワークからの反射エコーを受信する超音波プローブと、前記超音波プローブを少なくとも一軸に沿って走査可能な走査制御手段と、前記超音波プローブにより受信された反射エコーに基づいて前記検査ワークの良否を検査する検査手段とを備えた超音波検査装置において、前記検査ワークの検査時の設置位置とは異なる所定位置に設置される校正ワークと、前記検査手段が前記検査ワークの検査を行っていないときに、前記超音波プローブを前記走査制御手段により前記所定位置に移動させて前記校正ワークにより前記超音波プローブの校正を行うプローブ校正手段とを備えることを特徴とする超音波検査装置。

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