特許

J-GLOBAL ID：200903052929187704

格子干渉型変位測定装置

発明者： 大崎 基弘 ,  富谷 雅樹
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280333
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099617
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 格子干渉型変位測定装置において、部品点数を低減する。【解決手段】 可干渉光源10と受光素子44との間の光路上に固定格子40と変位格子42を配置し、2つの格子間にプリズム41を配置する。プリズム41の入射面と出射面は平行ではなく、所定の傾き角γをなす。可干渉光源10からの光は固定格子40で回折光と透過光に分割される。回折光はプリズム41で屈折して変位格子42で回折し、再びプリズム41及び固定格子40を透過して受光素子44に入射する。透過光は、プリズム41で屈折し変位格子42で回折し、再びプリズム41を透過し固定格子40で回折して受光素子44に入射する。プリズム41のため受光素子44に入射する2つの光束はある角度をなして重なり合い、干渉縞を生じる。干渉縞を受光素子44で検出し、変位を測定する。

請求項（抜粋）：

可干渉光源と受光素子との光路上に互いに平行に配置された固定格子と変位格子を有し、前記変位格子の変位により生じる光の干渉を前記受光素子で検出する格子干渉型変位測定装置であって、前記固定格子と前記変位格子の間に配置され、入出射面が所定の傾きをなすプリズムを有し、前記固定格子と前記変位格子でそれぞれ回折した2つの光束の重なり部分に生じる干渉縞の異なる強度の位相部分を前記受光素子で検出することを特徴とする格子干渉型変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

Fターム (29件)：

2F064AA03 ,  2F064AA04 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG13 ,  2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065AA56 ,  2F065BB00 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB27 ,  2F065CC21 ,  2F065DD02 ,  2F065FF07 ,  2F065FF16 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL09 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065UU07