特許
J-GLOBAL ID:200903052931579660
冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 正信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-040353
公開番号(公開出願番号):特開2001-230459
出願日: 2000年02月17日
公開日(公表日): 2001年08月24日
要約:
【要約】【課題】 第1段コールドヘッドH1と第1冷却フランジF1間の伝熱性能を劣化させることがなく、簡単な構造でしかも第1段コールドヘッドH1のインジウム3a界面への押し付け力の調整と、第2段コールドヘッドH2のインジウム3b界面への押し付け力の調整が簡単容易にできる真空隔壁筒体を提供すること。【解決手段】 上端部に冷凍機の冷却シリンダを挿入するための開口部と取付けフランジF3とを有し、下端部に環状の第1冷却フランジF1を有する第1スリーブ2aと、該第1スリーブ2aの前記第1冷却フランジF1から垂下され下端部に第2冷却フランジF2を、また途中にバネ機能を有する筒体5をそれぞれ設けた第2スリーブ2bとで真空隔壁筒体を構成したこと。
請求項(抜粋):
冷凍機をクライオスタット内に真空領域と離隔して設置するための真空隔壁筒体であって、該真空隔壁筒体(2)は上端部に冷凍機の冷却シリンダを挿入するための開口部と取付けフランジ(F3)とを有し、下端部に環状の第1冷却フランジ(F1)を有する第1スリーブ(2a)と、該第1スリーブ(2a)の前記第1冷却フランジ(F1)から垂下され、下端部に第2冷却フランジ(F2)を、途中にバネ機能を有する筒体(5)をそれぞれ設けた第2スリーブ(2b)とで構成されていることを特徴とする冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造
IPC (3件):
H01L 39/04 ZAA
, F25B 9/00
, H01F 6/04 ZAA
FI (3件):
H01L 39/04 ZAA
, F25B 9/00 F
, H01F 7/22 ZAA G
Fターム (12件):
4M114AA02
, 4M114AA17
, 4M114AA28
, 4M114AA31
, 4M114CC03
, 4M114CC11
, 4M114DA02
, 4M114DA07
, 4M114DA09
, 4M114DA10
, 4M114DA12
, 4M114DA52
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭63-263707
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特開平1-149406
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特開昭60-187007
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