レーザ装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246866
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066771
出願日： 2000年08月16日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】電極や配線が形成されたガラス基板上の修正箇所をリペア装置によりレーザリペアし、かつその部分の膜厚を膜厚測定装置で測定する作業において、作業に必要な装置台数を削減し、かつ作業時間を短縮する。【解決手段】同一のレーザ光照射ユニット11から照射されるレーザ光の照射条件をレーザ光制御部12で制御し、リペア用のレーザ光と膜厚測定用のレーザ光をそれぞれ生成してガラス基板25へ照射する。リペア時にはガラス基板25からの反射光を反射光振り分け部13で画像処理用CCD14側に導き、ここで取り込んだ画像データをもとにレーザ光の照射条件を制御してリペアを行い、膜厚測定時には所定の照射条件に従ってレーザ光を制御して照射するとともに、ガラス基板25からの反射光を反射光振り分け部13でレーザ受光部16側に導き、ここで取り込んだデータをもとに算出した膜厚測定値とあらかじめ設定した設計値とを比較することでリペアの成否を判定する。

請求項（抜粋）：

対象物にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、前記対象物上の所定箇所の表面状態を画像データとして取り込む画像取り込み部と、前記画像取り込み部で取り込んだ画像データをもとに前記レーザ光照射部から照射されるレーザ光をリペア用レーザ光に制御し、又はあらかじめ設定された照射条件に従って前記レーザ光照射部から照射されるレーザ光を膜厚測定用レーザ光に制御するレーザ光制御部と、前記リペア用レーザ光を用いて、前記対象物上の所定箇所をリペアするレーザコントロール部と、前記膜厚測定用レーザ光を用いて、前記リペアされた所定箇所の膜厚を測定する膜厚測定部と、前記対象物からの反射光を前記画像取り込み部側又は前記膜厚測定部側に導く反射光振り分け部とを備え、同一のレーザ光照射部から照射されるレーザ光をリペア用レーザ光と膜厚測定用レーザ光のそれぞれに制御し、かつ前記リペア用レーザ光と膜厚測定用レーザ光を同一の光路を介して前記対象物に照射することを特徴とするレーザ装置。

IPC (6件)：

B23K 26/00 , G01B 11/06 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , H01S 3/00 , B23K101:36

FI (7件)：

B23K 26/00 C , B23K 26/00 P , G01B 11/06 H , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , H01S 3/00 B , B23K101:36

Fターム (37件)：

2F065AA25 , 2F065BB22 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL20 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2H088FA11 , 2H088FA15 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 2H092JB72 , 2H092JB73 , 2H092MA35 , 2H092MA46 , 2H092NA16 , 2H092NA30 , 2H092PA06 , 4E068AH00 , 4E068CA02 , 4E068CB05 , 4E068CB09 , 4E068CC02 , 4E068CD12 , 4E068DA00 , 4E068DA09 , 4E068DB13 , 5F072HH02 , 5F072JJ02 , 5F072JJ08 , 5F072YY06

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