特許

J-GLOBAL ID：200903052939298326

含フッ素有機ハロゲン化合物の排ガス処理装置およびその処理方法

発明者： 大橋 悟 ,  菅野 周一 ,  森 俊浩 ,  横山 久男 ,  富山 高行
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立エンジニアリング株式会社 ,  日立協和エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-151170
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337439
出願日： 1997年06月09日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】含フッ素有機ハロゲン化合物の分解酸性ガスと接触中和するアルカリの量を最小限とし、二次廃棄物発生量を低減できる処理装置の提供。【解決手段】含フッ素有機ハロゲン化合物の分解排ガスの分解装置16と、アルカリ溶液を貯え直結した2槽以上のアルカリ槽40と、分解装置からの分解排ガスをアルカリ槽からのアルカリ溶液により冷却,中和させ、中和生成物を含むアルカリ溶液をアルカリ槽に戻す冷却除去装置と、最終段のアルカリ槽40cから一定量ずつ取り出したアルカリ溶液を固形分と水に分離する脱水機51と、分解排ガスの中和による消費量に見合いアルカリ槽に供給するアルカリ供給装置44を備えた含フッ素有機ハロゲン化合物の排ガス処理装置。

請求項（抜粋）：

含フッ素有機ハロゲン化合物のフッ化水素を含む分解排ガスを連続的に供給する分解装置と、所定濃度のアルカリ溶液を貯え直列に連結した2槽以上のアルカリ槽と、前記分解装置からのフッ化水素を含む分解排ガスをアルカリ槽からのアルカリ溶液により冷却,中和させ、該中和生成物を含むアルカリ溶液をアルカリ槽に戻す冷却除去装置と、最終段のアルカリ槽から一定量ずつ取り出したアルカリ溶液を固形分と分離水に分離する脱水機と、前記分解排ガスの中和による消費量に見合って、アルカリを前記アルカリ槽に供給するアルカリ供給装置を備えたことを特徴とする含フッ素有機ハロゲン化合物の排ガス処理装置。

IPC (4件)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/77 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/70

FI (3件)：

B01D 53/34 134 B ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 134 F