特許
J-GLOBAL ID：200903052941640740
熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339570
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152225
出願日： 1991年11月30日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 被処理体の熱処理中と移動中における面内温度の均一性を高めることができる熱処理装置を提供することにある。【構成】 処理容器と、この処理容器内に配置された被処理体の処理面に対向するよう配置したメイン加熱源と、前記被処理体をその側部から加熱するために前記処理容器の外周を取囲むよう配置した補助加熱源と、前記処理容器と前記補助加熱源との間に配置した熱緩衝部材とを備えてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
処理容器と、この処理容器内に配置された被処理体の処理面に対向するよう配置したメイン加熱源と、前記被処理体をその側部から加熱するために前記処理容器の外周を取囲むよう配置した補助加熱源と、前記処理容器と前記補助加熱源との間に配置した熱緩衝部材とを備えてなることを特徴とする熱処理装置。
引用特許：
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