特許

J-GLOBAL ID：200903052943498038

ハロゲン化アルコキシシランの製造方法

発明者： 宮下 安男 ,  塚本 歩 ,  浅井 新一郎
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139658
公開番号（公開出願番号）：特開平5-310751
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 アルコキシシランとハロゲン化シランを反応させて、ハロゲン化アルコキシシランを製造する方法を提供する。【構成】 半導体の製造工程等に使用される高純度のハロゲン化シランを、アルコキシシランとハロゲン化シランを反応させる方法によって製造する。この際、触媒として、無機酸、ルイス酸及び有機酸の群から選ばれた1種以上の酸を触媒として使用すると効率良くハロゲン化アルコキシシランを製造することが可能である。

請求項（抜粋）：

アルコキシシランとハロゲン化シランを反応させることを特徴とするハロゲン化アルコキシシランの製造方法。

IPC (6件)：

C07F 7/04 ,  B01J 27/04 ,  B01J 27/08 ,  B01J 27/24 ,  B01J 31/02 103 ,  B01J 31/04