特許

J-GLOBAL ID：200903052943776178

電磁波による分析装置

発明者： 小島 繁 ,  劉 光佑 ,  工藤 喜弘 ,  川戸 清爾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-102146
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286975
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【構成】 分析されるべき対象物5に高輝度X線等の電磁波を照射する照射手段(線源51、モノクロメータ2、コリメータスリット3)と、この照射によって前記対象物から発生する前記対象物に固有の電磁波(特に螢光X線39)を検出する半導体検出器8等の検出手段とを有し、更に、前記対象物と前記照射手段との間にスリット40等のバックグラウンド低減手段が設けられている、電磁波による分析装置(特に全反射螢光X線分析装置50)。【効果】 バックグラウンドを十二分に減少させて検出感度(S/N比)を向上させることができ、かつ、高輝度の放射電磁波が使用可能となって検出感度を一層高めることができる。

請求項（抜粋）：

分析されるべき対象物に電磁波を照射する照射手段と、この照射によって前記対象物から発生する前記対象物に固有の電磁波を検出する検出手段とを有し、更に、前記対象物と前記照射手段との間にバックグラウンド低減手段が設けられている、電磁波による分析装置。