光学式エンコーダ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-209000
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022497
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、エンコーダ信号にオフセットや波形の歪みが生じにくい構成とし、持てる性能を最大限に引き出せるようなエンコーダを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、光ビームを射出する光源部と、前記光ビームを相対的に横切るように変位し、前記光ビームが照射される領域に所定周期の光学パターンが形成されたスケールと、前記スケールを経由した前記光ビームを受光する受光アレイ部とを有し、前記受光アレイ部が、基板側より受光面側まで順に、第1伝導型の半導体層、第2伝導型の半導体層、第1伝導型の半導体層を有し、前記基板側の第1伝導型の半導体層に逆バイアス電圧が印加されることを特徴とする光学式エンコーダが提供される。

請求項（抜粋）：

光ビームを射出する光源部と、前記光ビームを相対的に横切るように変位し、前記光ビームが照射される領域に所定周期の光学パターンが形成されたスケールと、前記スケールを経由した前記光ビームを受光する受光アレイ部とを有し、前記受光アレイ部が、基板側より受光面側まで順に、第1伝導型の半導体層、第2伝導型の半導体層、第1伝導型の半導体層、前記基板側の第1伝導型の半導体層に逆バイアス電圧が印加されることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (5件)：

G01D 5/36 , G01B 11/00 , H01L 27/14 , H01L 31/10 , H01L 31/12

FI (5件)：

G01D 5/36 T , G01B 11/00 A , H01L 31/12 E , H01L 27/14 K , H01L 31/10 G

Fターム (53件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065BB02 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065BB29 , 2F065FF16 , 2F065FF18 , 2F065FF48 , 2F065GG04 , 2F065GG15 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ00 , 2F065JJ05 , 2F065JJ24 , 2F065LL28 , 2F065MM03 , 2F065QQ28 , 2F103BA00 , 2F103BA08 , 2F103BA31 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA02 , 2F103EA05 , 2F103EA15 , 2F103EB02 , 2F103EB07 , 2F103EB12 , 2F103EB15 , 2F103EB32 , 2F103EB37 , 2F103FA12 , 4M118AA05 , 4M118AB02 , 4M118BA06 , 4M118CA03 , 4M118CA06 , 5F049NA03 , 5F049NB07 , 5F049RA02 , 5F049RA08 , 5F049UA14 , 5F089BA02 , 5F089BC07 , 5F089BC25 , 5F089CA11 , 5F089FA06 , 5F089FA10

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