特許

J-GLOBAL ID：200903052948160515

異物検出装置

発明者： 宇都 幸雄 ,  小泉 光義 ,  大島 良正
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114732
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011453
出願日： 1986年12月18日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 被検査物表面の中央部と周辺部とで同一基準レベルで検出できる。【構成】 照明手段4の各発光素子41がx方向に沿い複数個配列してあると共に、レンズアレイ6の結像レンズ61もx方向に沿い複数個直線状に配置してあるので、それぞれ個々の分割領域を各結像レンズ61と対応する光電変換素子8とで検出し、それぞれの領域内に存在する異物10を検出することができることにより、同一の基準レベルで異物10を精度よく安定に検出することができる。したがって、ペリクル3の広範囲の検査領域に亘って安定して異物の検出を行うことができる。

請求項（抜粋）：

被検査物表面を照明し、該被検査物自身の発する散乱光以外の散乱光の存在を検出して、該被検査物表面上に存在する異物を検出する異物検出装置において、前記被検査物を前記異物検出装置に対して一定方向に相対的に移動させる被検査物走査手段と、該被検査物走査手段により相対的に移動する前記被検査物表面をほぼ直線状に均一に照明する照明手段と、該照明手段により照明された前記被検査物表面に対して直線状に配列された複数個の光電変換素子よりなる光電検出手段と、前記照明手段で照明した前記被検査物表面の帯状照明部の像を前記光電検出手段の位置に結像させる直線状に配列した複数個の光学手段とを有していることを特徴とする異物検出装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭54-013751
  
• 特開昭61-123270