特許

J-GLOBAL ID：200903052952293023

透明板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者： 安本 雅昭 ,  窪 道生
出願人/特許権者： 株式会社不二越 ,  株式会社東邦テクノシステム
代理人 (1件)： 河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235774
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062354
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 入射角や入射位置を正確にコントロールすることなく透明板1の表裏及び内部に存在する欠陥を観察することが可能な欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 透明板1の一方の面に対して斜め方向から照明光を照射する照明装置2と、照明光の照射により透明板1の内部及び表面の欠陥によって生じる散乱光について照明光を入射した側と同一の面から観察する撮像装置3と、照明光が照射される透明板表面の領域すなわち照明照射領域6と撮像装置3により観察される透明板表面の領域すなわち検査領域7とを両領域が互いに重複しないように設定する領域設定装置と、を具備することにより、撮像装置3には透明板の内部から放射された光のみ入射されるようにした。

請求項（抜粋）：

透明板の一方の面に対して斜め方向から照明光を照射する照明装置と、該照明光の照射により透明板の内部及び表面の欠陥によって生じる散乱光について照明光を入射した側と同一の面から観察する撮像装置と、を具備することにより、透明板の内部及び表面の欠陥を光学的に検出する透明板の欠陥検査において、前記照明光が照射される透明板表面の領域すなわち照明照射領域と前記撮像装置により観察される透明板表面の領域すなわち検査領域とを両領域が互いに重複しないように設定する領域設定装置を具備することにより、前記撮像装置には透明板の内部から放射された光のみ入射されるようにしたことを特徴とする透明板の欠陥検査装置。