特許

J-GLOBAL ID：200903052954682426

光ビーム描画装置の描画ヘッド

発明者： 中島 直人 ,  東 哲雄 ,  玉置 英一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165308
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339836
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 発光素子の交換作業を容易に実行することができる光ビーム描画装置の描画ヘッドを提供することを目的とする。【解決手段】 光源ユニット13は、鏡筒21内に各々配設された半導体レーザ20と、コリメータレンズ22と、位置合わせスリーブ23とを備える。ベース部材12には、光源ユニット13の取付時に位置決めを行うための凹部31が形成されており、位置合わせスリーブ23と凹部31とを嵌合することにより、光源ユニット13をベース部材12に対して位置決めすることができる。そして、鏡筒21のフランジ部28に形成されたねじ孔29を貫通する固定用ボルト34を使用し、鏡筒21とベース部材12とを締結することにより、光源ユニット13をベース部材12に固定することができる。

請求項（抜粋）：

ベース部材と、発光素子と、コリメータレンズと、前記発光素子と前記コリメータレンズとを保持した状態でその外周部において前記ベース部材と当接する保持部材とを有する光源ユニットと、前記保持部材をその外周部において前記ベース部材に締結する締結手段と、を備えたことを特徴とする光ビーム描画装置の描画ヘッド。