特許
J-GLOBAL ID:200903052956473590

形状計測センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-049567
公開番号(公開出願番号):特開平5-296706
出願日: 1992年03月06日
公開日(公表日): 1993年11月09日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、簡単な構成により、検出素子の高密度化を図りつつ、検出精度の高い形状計測センサを提供することを目的とする。【構成】 導電性を有する弾性体1と、分極方向を対向させて前記弾性体1の表裏へ形成した一対の圧電体3,5と、このような一対の圧電体を複数形成した圧電体群と、弾性体を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体出力から他方の圧電体出力を減算する減算手段7とを備えて構成した。
請求項(抜粋):
導電性を有する弾性体と、この弾性体の表裏へ分極方向を対向させて形成される一対の圧電体と、この一対の圧電体を複数形成して成る圧電体群と、この圧電体群を構成するそれぞれの一対の圧電体及び前記弾性体とリード線を介して接続され、当該弾性体を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体出力から他方の圧電体出力を減算する減算手段と、を有することを特徴とする形状計測センサ。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  G01B 7/16
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-149504
  • 特開平2-195029
  • 特開昭64-041803

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