特許
J-GLOBAL ID：200903052957173069
ビーム照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-157651
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022798
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【構成】 電流計9を用いて引出電流または加速・減速電流を検出し、その電流波形を波形観測器11により観測する。あるいは、非接触型電流計10を用いて走査手段6を経たイオンビームのビーム電流を検出し、その電流波形も波形観測器11により観測する。波形処理装置12において、観測波形からイオンビームの周波数と振幅とを求め、その周波数と予め設定された周波数とがほぼ一致し、さらに振幅が所定値を越えていると、注入均一性がOKであれば注入一時停止指令が発生する。スキャンコントローラ13は、その指令を受けて走査電源14を制御し、走査手段6にイオンビームを通常のビームラインから逸らせるような走査信号を与える。【効果】 ビーム照射(注入)にビーム電流の振動による悪影響が及ぶことを回避することができ、ビーム照射の信頼性を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
ビーム電流を検出する電流検出手段と、上記電流検出手段により検出されたビーム電流の時間に対する変化を観測する電流観測手段と、上記電流観測手段により観測されたビーム電流の変化に基づいてそのビーム電流の振動周波数を検出する周波数検出手段と、上記周波数検出手段により検出された振動周波数とビーム照射における一定周期での繰り返し動作の周波数の整数倍もしくは整数分の1の周波数とを比較する周波数比較手段と、上記周波数比較手段による比較で両周波数がほぼ一致するときビーム照射の均一性が所定のレベルを満たしていなければビーム照射を停止させるビーム照射停止手段とを備えていることを特徴とするビーム照射装置。
IPC (2件)：
H01J 37/317
, H01L 21/265
