特許

J-GLOBAL ID：200903052957908069

赤外線センサ

発明者： 遠藤 俊哉 ,  杉山 大樹
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018329
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208606
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 高い機械的強度を有し、かつ高感度、高応答性の赤外線センサを得ること。【解決手段】 シリコン基板1上の一部に形成した多孔性酸化シリコン層2上に、感温素子の少なくとも一部を形成する。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上の一部に形成した多孔性酸化シリコン層上に、感温素子の少なくとも一部を形成したことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14

FI (3件)：

G01J 1/02 R ,  G01J 5/02 B ,  H01L 27/14 K

Fターム (20件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065CA13 ,  2G066BA01 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BB09 ,  4M118AA01 ,  4M118AB10 ,  4M118CA16 ,  4M118CA40 ,  4M118CB13 ,  4M118EA20 ,  4M118FC01 ,  4M118FC15 ,  4M118GA10