特許

J-GLOBAL ID：200903052961322435

湿式研磨用研磨材

発明者： 早川 哲生
出願人/特許権者： 株式会社ニッセン
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-362599
公開番号（公開出願番号）：特開2002-166352
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】【課題】 ハードディスク、ガラス、半導体の湿式研磨時に、被研磨体のスクラッチ傷の発生の少ない研磨材を提供する。【解決手段】研磨材用基材と、該基材の上に形成されたポリウレタン樹脂微多孔層であって、その表面の研削により微多孔セル構造が露出している研磨材層よりなる、湿式研磨用研磨材において、極細合成繊維の短繊維が前記ポリウレタン樹脂微多孔層に、該ポリウレタン樹脂100重量部に対して0.1重量部ないし20重量部含有され、そして該ポリウレタン樹脂微多孔層の研削により前記極細合成繊維の短繊維が前記研磨材層の上部に立毛されていることを特徴とする、湿式研磨用研磨材。

請求項（抜粋）：

研磨材用基材と、該基材の上に形成されたポリウレタン樹脂微多孔層であって、その表面の研削により微多孔セル構造が露出している研磨材層よりなる、湿式研磨用研磨材において、極細合成繊維の短繊維が前記ポリウレタン樹脂微多孔層に、該ポリウレタン樹脂100重量部に対して0.1重量部ないし20重量部含有され、そして該ポリウレタン樹脂微多孔層の研削により前記極細合成繊維の短繊維が前記研磨材層の上部に立毛されていることを特徴とする、湿式研磨用研磨材。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17