特許

J-GLOBAL ID：200903052964119282

熱処理装置

発明者： 山賀 健一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309165
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126999
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 熱処理により生じる排気ガス中の反応副生成物の除去が容易で、また省エネルギー化を図れること。【解決手段】 加熱炉を構成する反応容器に、当該反応容器の近傍から下方側に向かって伸びる第1の排気管を接続し、排気ガス中の反応副生成物の一部が温度低下により液化する長さに配管する。当該第1の排気管の下流端に反応副生成物を液化して捕捉するための空冷式の冷却トラップを設け、このトラップの下流側に垂直に伸びる第2の排気管を接続する。冷却トラップは捕捉した液体の量が外部から見えるように透明材料により構成され、下部にドレイン管が接続される。

請求項（抜粋）：

被処理基板の搬入された反応容器内に、反応ガスを導入し、前記被処理基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、前記反応容器に接続され、当該反応容器からまたは排気ガス中に含まれる反応副生成物が液化しない程度の高温部位である反応容器の近傍から下方側に向かって伸びる第1の排気管と、この第1の排気管の下流端に設けられ、前記反応副生成物を液化して捕捉するためのトラップと、を有することを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/205

Fターム (7件)：

5F045AA20 ,  5F045AC03 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045DP19 ,  5F045EG08 ,  5F045EJ04