特許
J-GLOBAL ID：200903052964374657
ウィーンフィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267153
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119906
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 ボケ、歪み等の収差が取り除かれ、フリンジング場の不一致によるビーム偏向がなく、分解能に優れ、操作性の良いウィーンフィルタ。【構成】 ウィーンフィルタを2個直列配置するか、あるいは、励磁強度を所定値に設定し、ウィーンフィルタ入射面に結像した像の倒立像を一旦フィルタ中間に結像させ、その正立像を出射面に再結像させるようにして、収差を取り除き、同時に、ウィーンフィルタ単体ω、ω1、ω2の電極11と磁極12を同じ形状にして、フリンジング電場と磁場がウィーン条件を満足するようにして、フリンジング電場と磁場の不一致によるビーム偏向を防止する。
請求項（抜粋）：
ウィーンフィルタを2個直列配置するか、あるいは、励磁強度を所定値に設定し、ウィーンフィルタ入射面に結像した像の倒立像を一旦フィルタ中間に結像させ、その正立像を出射面に再結像させるようにし、かつ、前記ウィーンフィルタ単体のフリンジング電場と磁場がウィーン条件を満足するように構成したことを特徴とするウィーンフィルタ。
IPC (2件)：
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