特許

J-GLOBAL ID：200903052964730658

回転カソードターゲットの製造方法

発明者： 木田 音次郎 ,  林 篤
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339989
公開番号（公開出願番号）：特開平5-156431
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】【構成】円筒状ターゲットホルダー表面に、このホルダーとターゲット材料(ITO等)の中間の熱膨張係数を有するアンダーコートを形成し、次いで、このホルダーの外表面周囲にターゲット材料の粉末または成形体を配置し、熱間等方圧プレスにより、ターゲット材料の焼結およびホルダーとの接合を行う。【効果】高密度で、ターゲットホルダーとの接合工程が不要な原料歩留りの高い回転カソードターゲットを提供できる。

請求項（抜粋）：

円筒状ターゲットホルダーの外表面周囲にターゲット材料の粉末または成形体を配置し、熱間等方圧プレスにより、ターゲット材料を焼結するとともにターゲットホルダーと接合させてターゲットを形成することを特徴とする回転カソードターゲットの製造方法。