特許
J-GLOBAL ID：200903052967906609
薄膜分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342112
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194285
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 試料裏面からの深さ方向分析に好適な試料を調製する。【構成】 基板上に形成された薄膜の深さ方向の元素の濃度分布を調べる方法において、基板と薄膜との間に基板を除去するためのエッチャントに対して不活性な中間層を設けて分析用試料を調製することを特徴とする薄膜分析方法。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された薄膜の深さ方向の元素の濃度分布を調べる方法において、基板と薄膜との間に基板を除去するためのエッチャントに対して不活性な中間層を設けて分析用試料を調製することを特徴とする薄膜分析方法。
IPC (2件)：
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