特許
J-GLOBAL ID：200903052968899533
静電駆動の角速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-306585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131074
出願日： 1998年10月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 静電駆動型角速度センサの、振動検出のS/Nを高くする。これを簡単な電気回路にて実現する。【解決手段】 x方向およびそれに直交する方向に振動可に、基板1で浮動支持された振動部材8/81,82,それにx方向励振の静電気力を与える駆動固定電極9a,9b,駆動回路12、ならびに、角速度によるy振動を電気信号に変換する検出固定電極11a,11bおよびy振動検出回路14、を備える角速度検出装置であり、駆動回路12は、x振動周波数より高周波数の搬送波を、振動周波数の駆動信号SDa,SDbにより振幅変調したx励振信号VDa,VDbを発生する振幅変調器12c,12g、および、x励振信号対応の電圧を発生し駆動固定電極9a,9bに印加する電圧出力手段12e,12h、を含む。検出回路13,14は、振動周波数の低周波を抽出するロ-パスフィルタ13d,14dを含む。
請求項（抜粋）：
x方向およびそれに直交する方向に振動可能な状態で、基板上に浮動支持された振動部材,該振動部材にx方向励振用の静電気力を与えるための駆動用固定電極,該固定電極にx方向駆動用の電圧を印加する駆動回路、ならびに、前記振動部材に角速度が加わることによる該振動部材の、x方向と直交する方向の角速度対応振動を静電検出により検出し電気信号に変換するための検出用固定電極および振動検出回路、を備える静電駆動の角速度検出装置において、前記駆動回路は、前記振動部材のx方向の振動周波数より高い周波数の搬送波を、該振動周波数の駆動信号により振幅変調したx励振信号を発生する振幅変調器、および、該x励振信号対応の電圧を発生し前記駆動用固定電極に印加する電圧出力手段、を含むことを特徴とする、静電駆動の角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
