特許
J-GLOBAL ID：200903052970360170
フィルター装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
苗村 正 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330335
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165012
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 例えば半導体製造装置のガス供給系路などで使用される高純度ガスなどに好適に使用しうるフィルター装置に関する。【解決手段】 基体(2)に設けた流入口(12)から流入する被処理流体を濾過部(5)により濾過して流出口(13)から流出させるフィルター装置であって、前記流入口(12)と流出口(13)とは基体(2)の一面に設けられるとともに、前記濾過部(5)は、前記流入口(12)に通じる流入路(21)の終端と、前記流出口(13)に通じる流出路(22)の始端とが開口し基体(2)の他面に凹設された濾過室(15)と、前記濾過室(15)において前記終端と始端との間の流路に配されるフィルター部材(4)と、前記濾過室を封止する天板(3)とからなることを特徴とするフィルター装置。
請求項（抜粋）：
基体に設けた流入口から流入する被処理流体を濾過部により濾過して流出口から流出させるフィルター装置であって、前記流入口と流出口とは前記基体の一面に設けられるとともに、前記濾過部は、前記流入口に通じる流入路の終端と、前記流出口に通じる流出路の始端とが開口し基体の他面に凹設された濾過室と、前記濾過室において前記終端と始端との間の流路に介在するフィルター部材と、前記濾過室を封止する天板とからなることを特徴とするフィルター装置。
IPC (4件)：
B01D 46/00
, B01D 29/01
, H01L 21/205
, H01L 21/31
B01D 46/00 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
, B01D 29/04 510 A
, B01D 29/04 530 A
