特許
J-GLOBAL ID：200903052976626392
静電容量の変化を利用したセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203875
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026754
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 静電容量の変化を利用したセンサの構造を単純化するとともに、検出感度を高める。【構成】 可撓基板60、制御基板70、固定基板80が接合される。可撓基板60は、中心のブロック状の作用部61と、外周のフレーム状の固定部63と、両者を4か所で接続する橋状梁62からなる。制御基板70の上面の溝D2と、固定基板80の下面の溝D3とによって、空間が形成され、作用部61は周囲を取り囲まれた環境下で宙吊り状態となる。作用部61の上面には変位電極21,23,25が形成され、固定基板80の下面には固定電極11が形成される。作用部61に加速度が作用すると、橋状梁62が撓み、作用部61が変位し、各電極間距離も変化する。各電極によって構成される容量素子の静電容量の変化に基づいて、作用した加速度が検出できる。
請求項（抜粋）：
装置筐体に固定される固定部と、外因により力が作用する作用部と、前記固定部と前記作用部との間に形成され可撓性をもった可撓部と、を有する可撓基板と、前記可撓基板に対向するように、装置筐体に固定された固定基板と、前記可撓基板の前記作用部上の前記固定基板に対する対向面に形成された変位電極と、前記固定基板の前記可撓基板に対する対向面に形成された固定電極と、を備え、前記変位電極と前記固定電極との間に生じる静電容量の変化に基づいて、前記作用部に作用した力を検出することを特徴とする静電容量の変化を利用したセンサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01L 1/14
, G01P 15/125
