特許

J-GLOBAL ID：200903052984290573

露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 道口 健太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-336005
公開番号（公開出願番号）：特開2008-147577
出願日： 2006年12月13日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：

【課題】 投影光学系と基板との間隙に供給された液体の周囲への飛散を低減すること。【解決手段】 最終光学素子光軸の周囲に配された第1供給口を有し、かつ該間隙に液体を供給する第1供給手段と、該光軸の周囲に配された第1回収口を有し、かつ該間隙から液体を回収する第1回収手段と、第1供給口および第1回収口に関し該光軸とは反対側に配された第2供給口を有し、かつ気体を供給する第2供給手段と、第1供給口および第1回収口と第2供給口との間に配された第2回収口を有し、かつ第2供給口から供給された気体を回収する第2回収手段と、第2供給口を有するノズル部材とを有し、ノズル部材は、第2供給口に隣接し、かつ第2供給口より該光軸に近い第1部分が、第2供給口に隣接し、かつ第2供給口より該光軸から遠い第2部分より、該光軸の方向において投影光学系の像面の近くにある、露光装置とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

原版からの光を投影して像を形成する投影光学系を有し、前記投影光学系と基板との間隙に液体を満たした状態で該原版および前記投影光学系を介して該基板を露光する露光装置であって、 前記投影光学系の最終光学素子の光軸の周囲に配された第1の供給口を有し、かつ前記第1の供給口を介して該間隙に該液体を供給する第1の供給手段と、 該光軸の周囲に配された第1の回収口を有し、かつ前記第1の回収口を介して該間隙から該液体を回収する第1の回収手段と、 前記第1の供給口および前記第1の回収口に関し該光軸とは反対の側に配された第2の供給口を有し、かつ前記第2の供給口を介して気体を供給する第2の供給手段と、 前記第1の供給口および前記第1の回収口と前記第2の供給口との間に配された第2の回収口を有し、かつ前記第2の回収口を介して前記第2の供給口から供給された気体を回収する第2の回収手段と、 前記第2の供給口を有するノズル部材と、を有し、 前記ノズル部材は、前記第2の供給口に隣接し、かつ前記第2の供給口より該光軸に近い第1の部分が、前記第2の供給口に隣接し、かつ前記第2の供給口より該光軸から遠い第2の部分より、該光軸の方向において前記投影光学系の像面の近くにあるように構成されている、ことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (2件)：

5F046AA28 ,  5F046CB24

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット
  
• 国際公開第2004/086470号パンフレット
  
• リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-417259   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 国際公開第2004/093159号パンフレット