特許

J-GLOBAL ID：200903052986936870

ガスレーザ発振装置

発明者： 林川 洋之 ,  山下 隆之 ,  江口 聡 ,  本宮 均
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 村山 光威 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210669
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054816
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 モードの低次化を図りつつ、かつ散乱光を抑制することにより、高品質なレーザビームを得る。【解決手段】 放電管22,23のうち、一対の放電管22は、レーザビーム8の光軸方向における一端部及び他端部にそれぞれ配置され、スペーサ21は、部分反射鏡7と放電管23との中間に配置されている。光軸方向の両端部にそれぞれ配置された一対の放電管22の内径をr<SB>1</SB>、これら一対の放電管22の光軸方向における長さの和をL<SB>1</SB>(=l<SB>1</SB>+l<SB>2</SB>)とする共に、残りの放電管23の内径をr<SB>2</SB>、放電管23の光軸方向における長さの和をL<SB>2</SB>(=l<SB>3</SB>+l<SB>4</SB>+l<SB>5</SB>+l<SB>6</SB>)とし、さらにスペーサ11の内径をr<SB>3</SB>とすると、r<SB>1</SB>/r<SB>2</SB>>1.0,L<SB>2</SB>/(L<SB>1</SB>+L<SB>2</SB>)<0.85及びr<SB>3</SB>/r<SB>2</SB><1.4の関係を同時に満たすように、放電管22,23及びスペーサ21が構成されている。

請求項（抜粋）：

放電空間内にレーザガスが満たされ、レーザビームの光軸に沿って少なくとも3個以上直列に配置された放電管と、前記放電空間の一側端の開口に対向配置され、終段鏡を構成した全反射鏡と、前記放電空間の他側端の開口に対向配置され、出力鏡を構成した部分反射鏡とを備え、前記放電管により放電空間内で放電を発生させるとともに、前記全反射鏡及び前記部分反射鏡からなる光共振器により光増幅し、前記部分反射鏡を通して前記放電管の管軸方向にレーザビームを出力するガスレーザ発振装置において、前記レーザビームの光軸を中心とする開口部が貫通したスペーサを、前記部分反射鏡と前記光軸方向で他端部に配置された前記放電管との中間に配置し、光軸方向の両端部にそれぞれ配置された一対の放電管の内径をr<SB>1</SB>、一対の放電管の光軸方向における長さの和をL<SB>1</SB>とするとともに、残りの放電管の内径をr<SB>2</SB>、残りの放電管の長さの和をL<SB>2</SB>とし、かつスペーサの開口部の内径をr<SB>3</SB>とした場合に、下式(数1),(数2)及び(数3)の関係を同時に満たすように、前記放電管及び前記スペーサを構成したことを特徴とするガスレーザ発振装置。【数1】r<SB>1</SB>/r<SB>2</SB>>1.0【数2】L<SB>2</SB>/(L<SB>1</SB>+L<SB>2</SB>)<0.85【数3】r<SB>3</SB>/r<SB>2</SB><1.4

IPC (2件)：

H01S 3/03 ,  H01S 3/08

FI (2件)：

H01S 3/03 Z ,  H01S 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-231784
  
• 特開昭58-196081