特許
J-GLOBAL ID：200903052987795234
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354069
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181246
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 高周波信号を被検査体例えば半導体ウエハに印加してウエハ上のICチップを検査するにあたって、精度の高い電気的測定を行うことができ、しかも装置の組み立て作業が簡単であること。【構成】 内面側に絶縁層61が形成された銅箔6によりプリント基板3の開口31を跨いで、その両側のプリント基板の表面をプローブ針5の固定端も含めて覆い、これによりプリント基板3に沿って伸びるプローブ針5の基端部側をプリント基板3の表面と当該銅箔6との間に挟み込む。この結果外部からのノイズを遮蔽できると共に、高周波信号におけるプローブ針5とアースとの間のインピーダンスが低くなって、プローブ針5間のインピーダンスが揃う。
請求項（抜粋）：
プリント基板に設けられたプローブ針を被検査体に接触させ、このプローブ針を介して検査用の高周波信号を被検査体に印加して電気的測定を行うプローブ装置において、内面側に絶縁層が設けられた導電性の面状体によって、プローブ針の一部が当該面状体と前記プリント基板との間に挟まれるようにプリント基板の基板面を覆うと共に、前記導電性の面状体を接地用の端子部に電気的に接続したことを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/28
