研磨方法および研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126526
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317820
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】限られたスペースの中で同時に多量のワークの研磨加工を高精度で行い得るようにする。【解決手段】下定盤11は固定され、中定盤12と上定盤13は下定盤11に向けて上下動自在となっており、中定盤12のみが回転自在となっている。下定盤11の上面には研磨具14が設けられ、中定盤12には上面と下面とにそれぞれ研磨具15,16が設けられ、上定盤13の下面には研磨具17が設けられている。下定盤11の研磨具14と中定盤12の上には、ワークWを収容する収容孔19が設けられたキャリア18が複数個配置される。上下に2段となって配置されるキャリア18はそれぞれ太陽歯車31,65と内歯歯車と噛み合って自転しながら公転移動する。ワークWを研磨加工する際には、それぞれ静止状態の下定盤11と上定盤13との間の中定盤12が回転される。

請求項（抜粋）：

上面に研磨面を有する下定盤の上に配置されたキャリアの収容孔と、上面と下面に研磨面を有し前記下定盤から上方に退避した状態の中定盤の上に配置されたキャリアの収容孔とにワークを装填するワーク装填工程と、前記下定盤に向けて前記中定盤を下降移動させて前記下定盤の上に装填されたワークに前記中定盤の下面の研磨面を接触させ、下面に研磨面を有する上定盤を前記中定盤に向けて下降移動させて前記中定盤の上に装填されたワークに前記上定盤の下面の研磨面を接触させる研磨具接触工程と、前記中定盤の上下両側に配置された前記キャリアに噛み合う太陽歯車と内歯歯車とを相対回転させるとともに、少なくとも前記中定盤を回転させることにより、前記複数のワークの両面を同時に研磨加工する研磨工程とを有することを特徴とする研磨方法。

Fターム (15件)：

3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AA13 , 3C058AA14 , 3C058AA16 , 3C058AA18 , 3C058AB01 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AB08 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA06 , 3C058DA09 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

両面研磨機
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-040564 出願人：浜井産業株式会社
特開平2-212071
特開平2-212071

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