特許
J-GLOBAL ID：200903052995761292
吸着装置、ならびに板状部材の搬送方法、液晶表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-207427
公開番号（公開出願番号）：特開2006-027795
出願日： 2004年07月14日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 被吸着物を、その大きさに関わらず確実かつ傷付けずに吸着固定することができる吸着装置を提供する。【解決手段】 被吸着物Gを支持する支持面2aを有すると共に支持面2aに穴2cを設けた吸着ステージ2と、支持面2aを覆うように吸着ステージ2に取り付けられた通気性を有する多孔質部材11と、穴2cの内部に真空圧を発生させて被吸着物Gを多孔質部材11上に吸着固定する真空ポンプ10とを備えた吸着装置であって、多孔質部材11が弾性を有する有機材料で形成されたことを特徴とする。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被吸着物を支持する支持面を有すると共に該支持面に穴又は溝を設けた吸着ステージと、前記支持面を覆うように前記吸着ステージに取り付けられた通気性を有する多孔質部材と、前記穴又は溝の内部に真空圧を発生させて被吸着物を前記多孔質部材上に吸着固定する真空圧発生手段とを備えた吸着装置であって、前記多孔質部材が弾性を有する有機材料で形成されたことを特徴とする吸着装置。
IPC (6件)：
B65G 49/06
, B25J 15/06
, C03B 33/03
, G02F 1/13
, G02F 1/133
, H01L 21/677
B65G49/06 A
, B25J15/06 G
, C03B33/03
, G02F1/13 101
, G02F1/1333 500
, H01L21/68 B
2H088FA05
, 2H088FA17
, 2H088FA24
, 2H088FA30
, 2H088MA16
, 2H090JB02
, 2H090JC13
, 3C007AS24
, 3C007FS01
, 3C007FT07
, 3C007FT08
, 3C007FT11
, 3C007NS12
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC10
, 5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA21
, 5F031GA24
, 5F031GA26
, 5F031GA32
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031LA08
, 5F031LA15
, 5F031MA34
, 5F031PA16
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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