特許

J-GLOBAL ID：200903052996643269

混合ガスの流量制御方法

発明者： 登坂 久雄
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210677
公開番号（公開出願番号）：特開平6-035544
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 安定した流量制御で混合ガス中のO2ガスの流量を1CCM以下の微小流量とする。【構成】 流量制御弁1〜4、27のフルスケールは100CCMであるとする。そして、今、CF4ガスとO2ガスとを前者が99%で後者が1%の割合で混合し、この混合ガスをその中のO2ガスの流量を0.5CCMとしてチャンバ30内に導入するとする。この場合、流量制御弁2の流量を10CCMに設定し、開閉弁6、14、21を1分間だけ開け、O2ガスをガス溜め容器23内に10cc導入し、流量制御弁1の流量を100CCMに設定し、開閉弁5、13、21を9.9分間だけ開け、CF4ガスをガス溜め容器23内に990cc導入する。次に、流量制御弁27の流量を50CCMに設定し、開閉弁24、25、28を開けると、ガス溜め容器23内から混合ガスが流量50CCMでチャンバ30内に導入される。この場合、O2ガスの流量は0.5CCMとなる。

請求項（抜粋）：

複数の原料ガスを、それぞれ対応する原料ガス用の流量制御弁によって制御して各原料ガスを個々にガス溜め容器内に導入する際、少なくとも1つの原料ガスは他とは異なる時間ガス溜め容器内に導入することにより所定の割合に混合した上、このガス溜め容器内の混合ガスを混合ガス用の流量制御弁を介して取り出すようにしたことを特徴とする混合ガスの流量制御方法。

IPC (4件)：

G05D 7/06 ,  G05D 11/13 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302