特許
J-GLOBAL ID：200903053025742755

硬質皮膜

発明者：
久保田 和幸

久保田 和幸 について


出願人/特許権者：
日立ツール株式会社

日立ツール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-171022
公開番号（公開出願番号）：特開2006-342414
出願日： 2005年06月10日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】高硬度、耐高温酸化性の優れる硬質皮膜においても密着性を犠牲にすること無く、特に靭性を改善し、高温状態での耐溶着性、潤滑特性も改善し、例えば切削加工などにおける乾式化、高速化、高送り化に対応可能な硬質皮膜を提供する。【解決手段】物理蒸着法により基体表面に形成された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みT(nm)が0.1≦T≦100、であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
物理蒸着法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は4a、5a、6a族、Al、Bから選択される1種以上の金属元素とSiを含み、C、N、Oから選択される1種以上の非金属元素からなり、該硬質皮膜は柱状組織を有し、該柱状組織中の結晶粒はSi含有量に差がある複数の層からなる多層構造を有し、該層間の境界領域では少なくとも結晶格子縞が連続している領域が存在し、各層の厚みT(nm)が0.1≦T≦100、であることを特徴とする硬質皮膜。
IPC (3件)：
C23C 14/22 ,  B23B 27/14 ,  B23B 51/00
FI (3件)：
C23C14/22 Z ,  B23B27/14 A ,  B23B51/00 J
Fターム (18件)：
3C037CC02 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF19 ,  3C046FF25 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA52 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DD06
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
  • 硬質皮膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-127575   出願人：日立ツール株式会社
  • 硬質皮膜被覆工具
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-283574   出願人：日立ツール株式会社
  • ピストンリング
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-054425   出願人：帝国ピストンリング株式会社
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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