特許
J-GLOBAL ID：200903053032829980
小型シリコン加速度計及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003220
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256870
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】振動の多い状況下でかつ広い温度範囲で正確に動作可能である小型加速度計及び加速度検知方法を提供する。【構成】1対の電極層30、32の間にシリコンから成るプルーフマス16を宙づりの状態に保持し、センサ回路部14によりこの電極層とプルーフマスとの間の差動的な容量結合を検知し、この検知された結合に応答して加速力に抗する力(電気的な力)を電極層30、32を通してプルーフマス16に加える。この回復力の大きさは加速度の関数であり、センサ回路部14の加速度出力34において測定することができる。
請求項（抜粋）：
一対の電極層と、シリコンのプルーフマスと、前記プルーフマスを前記電極層の間に宙づりにする手段と、増幅器を含み、前記プルーフマスに加わる加速度の力に抵抗するための電気信号を発生するために、電極層とプルーフマスとの間の差動的な容量結合に応答する線形手段と、前記加速度の測定値として前記信号の大きさと符号を測定するための手段と、を備えた小型加速度計。
引用特許：
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