特許
J-GLOBAL ID：200903053044460388
インク噴射記録ヘッドの検査法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-085212
公開番号（公開出願番号）：特開平8-281950
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：
【要約】【目的】 本発明はインクジェットプリントヘッドの検査法に関するもので、特に大規模高集積密度のノズルを一括して製造する場合のプリントヘッドウエハの検査法を提供することを目的とする。【構成】インク吐出口近傍に設けられた発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインク噴射記録ヘッドの製造過程における吐出検査において、該ヘッドに純水を充填して吐出信号に応じて該ヘッドから吐出させる水滴に集束光を当て、その反射光と吐出信号との相関関係から該ヘッドの良否判定を行う。
請求項（抜粋）：
インク吐出口近傍に設けられた発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインク噴射記録ヘッドの製造過程における吐出検査において、前記へッドに純水を充填して吐出信号に応じて前記ヘッドから吐出させる水滴に集束光を当て、その反射光と吐出信号との相関関係から前記ヘッドの良否判定を行うことを特徴とするインク噴射記録ヘッドの検査法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, H01C 7/00 V
