特許

J-GLOBAL ID：200903053045153713

スピンナー洗浄装置及びダイシング装置

発明者： 稲葉 和徳
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204830
公開番号（公開出願番号）：特開2000-033346
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 回転可能なスピンナーテーブルに保持された被洗浄物に対して洗浄水を噴射することにより被洗浄物を洗浄するスピンナー洗浄装置において、洗浄時に静電気が発生するのを防止することにより被洗浄物に静電気が帯電するのを防止する。【解決手段】 被加工物を保持し回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持された被洗浄物に洗浄水を噴射する洗浄水噴射手段とから少なくとも構成されるスピンナー洗浄装置において、洗浄水噴射手段をアースに接続して静電気をアースに逃がすようにする。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持し回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持された被洗浄物に洗浄水を噴射する洗浄水噴射手段とから少なくとも構成されるスピンナー洗浄装置であって、該洗浄水噴射手段はアースに接続されているスピンナー洗浄装置。

IPC (6件)：

B08B 3/02 ,  B08B 11/02 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 646 ,  H01L 21/301

FI (6件)：

B08B 3/02 B ,  B08B 11/02 ,  H01L 21/304 643 C ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 646 ,  H01L 21/78 P

Fターム (13件)：

3B116AA03 ,  3B116AB04 ,  3B116AB34 ,  3B116BB22 ,  3B116BB45 ,  3B116CC03 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB92 ,  3B201BB98 ,  3B201CC12