特許
J-GLOBAL ID：200903053046408065
光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-324473
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157922
出願日： 1991年12月09日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】本発明は光導波路の製造方法に関し、製造に際してコアの断面形状が不所望の変化することのない方法の提供を目的とする。【構成】第1のクラッドガラス12上に溝14を形成するステップと、コアガラス16が溝14に充填されるようにコアガラス16を第1のクラッドガラス12上に形成するステップと、第2のクラッドガラス18を重ねて加熱及び加圧を行うステップとから構成する。
請求項（抜粋）：
比較的低屈折率な第1のクラッドガラス(12)上にコアの形状に対応した形状の溝(14)を形成するステップと、上記第1のクラッドガラスの軟化点よりも低い温度の軟化点を有する比較的高屈折率なコアガラス(16)が上記溝(14)に充填されるように該コアガラスを上記第1のクラッドガラス上に形成するステップと、上記第1のクラッドガラス(12)の上記溝(14)が形成された側に上記第1のクラッドガラスと同等屈折率の第2のクラッドガラス(18)を重ね、上記第1及び第2のクラッドガラスを介して上記コアガラス(16)を上記コアガラスの軟化点よりも高く且つ上記第1のクラッドガラスの軟化点よりも低い温度に加熱しながら、上記第2のクラッドガラス(18)を加圧するステップとを含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
引用特許：
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