特許

J-GLOBAL ID：200903053050683119

電気光学装置用基板の検査方法

発明者： 石井 良
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152265
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338526
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 画素数が多数であっても、また、画素電極が小さく、かつ、そのピッチが狭くても、容易に画素等の欠陥を識別する。【解決手段】 素子基板101に形成された画素電極118は、トランジスタ116を介してデータ線に接続されている。また、素子基板101には、画像信号線に供給される画像信号をサンプリングしてデータ線114に供給するサンプリングスイッチが形成されている。検査時には、画素電極118に、導電性ゴム200を介して交流信号VACを印加する一方、走査線に走査信号を順次供給するとともに、サンプリングスイッチにサンプリング制御信号を順次供給する。ここで、欠陥がなければ、交流信号VACは、画素電極118→トランジスタ→データ線→サンプリングスイッチ→画像信号線という経路を辿る。このため、有効走査期間において、画像信号線に交流信号が現れないときがあれば欠陥があることが解る。

請求項（抜粋）：

複数の走査線と複数のデータ線と画像信号線とが形成されるとともに、前記走査線と前記データ線とに接続されたトランジスタと、このトランジスタに接続された画素電極とからなる画素と、各データ線毎に設けられるとともに、前記画像信号線に供給される画像信号を、サンプリング制御信号にしたがってサンプリングしてデータ線に供給するサンプリングスイッチとを備える電気光学装置用基板の検査方法であって、画素電極に交流信号を印加する一方、前記走査線に走査信号を順次供給するとともに、前記サンプリングスイッチにサンプリング制御信号を順次供給して、前記画像信号線に交流信号が現れるか否かによって欠陥検査を行うことを特徴とする電気光学装置用基板の検査方法。

IPC (7件)：

G02F 1/1365 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/133 550 ,  G09G 3/20 621 ,  G09G 3/36

FI (7件)：

G02F 1/136 500 ,  G01M 11/00 T ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/133 550 ,  G09G 3/20 621 J ,  G09G 3/36

Fターム (68件)：

2G014AA23 ,  2G014AB51 ,  2G014AC18 ,  2G036AA19 ,  2G036AA26 ,  2G036AA27 ,  2G036BA33 ,  2G036BB12 ,  2G036CA10 ,  2G086EE10 ,  2H092JA23 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB56 ,  2H092JB61 ,  2H092KA03 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092MA27 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092MA57 ,  2H092NA25 ,  2H092NA30 ,  2H093NA16 ,  2H093NA79 ,  2H093NC22 ,  2H093NC23 ,  2H093NC26 ,  2H093NC33 ,  2H093NC59 ,  2H093NC90 ,  2H093ND56 ,  2H093NE10 ,  5C006AA22 ,  5C006AF42 ,  5C006BB16 ,  5C006BC03 ,  5C006BC12 ,  5C006BC20 ,  5C006BF03 ,  5C006BF04 ,  5C006BF11 ,  5C006BF26 ,  5C006BF27 ,  5C006BF34 ,  5C006EB01 ,  5C006EB04 ,  5C080AA06 ,  5C080AA10 ,  5C080BB05 ,  5C080DD15 ,  5C080FF11 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• アクティブマトリックス基板の製造方法および検査方法と液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-057386   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (1件)

• アクティブマトリックス基板の製造方法および検査方法と液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-057386   出願人：ソニー株式会社