特許
J-GLOBAL ID：200903053052036463
変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-057718
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249648
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 測定対象に応じて光の照射角度を切り替え可能とし、高分解能で測定範囲の広い変位計を得ること。【構成】 被測定面Pに向けて光ビームを照射するレーザー光源1と、その光ビームに対して所定の角度をなす光軸を有する受光レンズ3と、同受光レンズ3により被測定面P上の光点が結像される半導体位置検出素子4とを備え、三角測量法にて被測定面Pの変位量を測定するにあたって、レーザー光源1から照射される光ビームを案内する光ファイババンドル5を備え、同光ファイババンドル5には被測定面Pに対して垂直に光ビームを照射する第1の光ガイド部5aと、同被測定面Pと平行な任意の被測定面に対して所定の角度をもって光ビームを照射し、その反射光が上記受光レンズを介して上記半導体位置検出素子上に入射されるように角度付けされた第2の光ガイド部5bとが設けられている。
請求項（抜粋）：
被測定面に向けて光ビームを照射するレーザー光源と、その光ビームに対して所定の角度をなす光軸を有する受光レンズと、同受光レンズにより上記被測定面上の光点が結像される半導体位置検出素子とを備え、同半導体位置検出素子上の結像点位置に基づいて三角測量法にて上記被測定面の変位量を測定する変位計において、上記レーザー光源から照射される光ビームを案内する光ファイババンドルを備え、同光ファイババンドルには被測定面に対して垂直に光ビームを照射する第1の光ガイド部と、同被測定面と平行な任意の被測定面に対して所定の角度をもって光ビームを照射し、その反射光が上記受光レンズを介して上記半導体位置検出素子上に入射されるように角度付けされた第2の光ガイド部とが設けられていることを特徴とする変位計。
IPC (2件)：
引用特許：
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