特許

J-GLOBAL ID：200903053058633480

加速度センサ及びその製造方法

発明者： 大土 哲郎 ,  川崎 修 ,  新宅 秀信 ,  鈴木 茂夫 ,  西倉 孝弘 ,  今田 勝巳 ,  住原 正則 ,  武田 克 ,  野島 貴志
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-070123
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318578
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】小型で、高感度、高信頼性を有する加速度センサ及びその製造方法を提供する。【構成】圧電振動子に溶射により形成した金属またはセラミック等の導電性突起物を介して、圧電振動子を支持部体によって支持する。

請求項（抜粋）：

互いに対向する第1及び第2の主面を有する圧電素子と、該第1及び第2の主面に形成された第1及び第2の電極と、該第1及び第2の電極上に溶射によって形成された金属またはセラミックからなる導電性突起物とを有する圧電振動子と、該導電性突起物を介して該圧電振動子を支持する支持体と、を有する加速度センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/09 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (2件)：

H01L 41/08 M ,  H01L 41/22 Z